investing Lesedauer: 6 min Erscheinungsdatum: 15.03.2021

MIT “SPIN” IN DIE WELTSPITZE - DIE LAM RESEARCH AG

© LAM Research
Das Lam Research Training Zentrum in Villach

In unseren “Business Stories” beleuchten wir zukünftig spannende Geschichten aus dem Villacher Wirtschaftsleben und beginnen mit einer besonders außergewöhnlichen Erfolgsgeschichte. Mit dem Spin-Prozessor hat das Villacher Semiconductor Equipment und Zubehör - kurz SEZ, in den späten 1980er-Jahren eine Innovation auf den Weltmarkt gebracht, die das Unternehmen heute - als Teil des globalen Lam Research Konzerns - zu einem der führenden Anbieter von innovativen Technologie- und Produktivitäts-Lösungen für die Halbleiterindustrie macht.

 

AUS DER GARAGE IN DEN WELTMARKT

Die SEZ wurde 1986 von Egon Putzi und Walter Nadrag gegründet. Putzi, der von Austrianmicrosystems AMS kam und Nadrag, der zuvor bei der damaligen Siemens (heute Infineon) arbeitete, konzentrierten sich zum Start auf die Produktion von Keramikhaltern für Hochtemperaturprozesse und Sondermaschinen. Mit Franz Sumnitsch stieß schließlich ein weiterer ehemaligen AMS-Mitarbeiter zum Team. Er war dann - zum Start noch in seiner Freizeit - maßgeblich an der Entwicklung des späteren Erfolgsprodukts Spin-Prozessor beteiligt.

Das Problem der Wafer-Reinigung kannten die Drei nur zu gut aus ihrer beruflichen Vergangenheit. In Europa legte man damals aber kaum Augenmerk auf die Reinigung der Rückseite von Siliziumscheiben. So wurden, ganz nach amerikanischen Vorbild, die ersten Versuche einen Spin-Prozessor herzustellen, zuhause in der Garage unternommen. “Mit einem Saugknopf aus dem Badezimmer, einem Tonbandmotor und einer Spritzflasche mit Säure”, wird Sumnitsch zitiert. 1987 steigt er voll in das Unternehmen ein und wird ebenfalls zum Gesellschafter. Bald darauf trennen sich Putzi und Sumnitsch von Nadrag um sich ausschließlich nur mehr auf die Entwicklung des Spin-Prozessors zu konzentrieren. Den Firmennamen SEZ behalten sie.

Der erste Prototyp wird 1989 bei AMS in Unterpremstätten installiert. Das Gerät muss jedoch mehrfach weiterentwickelt und verbessert werden. 1990 konnte dann aber schon der erste kommerzielle Spin-Prozessor bei Siemens Villach (heute Infineon) in Betrieb genommen werden.

© David Kretz
David Kretz präsentiert die Lam Research AG

DER SPIN-PROZESSOR - EINE INNOVATION

Der Spin-Prozessor ermöglichte es mithilfe eines Rotationsverfahrens das damals vorherrschende Nassätzverfahren zur Reinigung von Siliziumscheiben (Wafern) zu ersetzen. Ein Verfahren, das aus heutiger Sicht nicht mehr aus der Halbleiterindustrie wegzudenken ist. Die einzelnen Parameter wie beispielsweise die Einstellung des Stickstoff-Flows, die Geschwindigkeit und die Temperatur, mit der die Säure aufgebracht wird, die Schwenkbewegung des Medienarms, die Umdrehungszahl usw., stellten wichtige Erfahrungswerte dar, die nur schwer zu imitieren sind.

Schon bald zählt das Unternehmen Kunden wie IBM, Motorola, Philips und Mitsubishi zu seinen Abnehmern und erzielt bereits 1993 einen Umsatz von rund 12 Mio. Euro, 1995 verdoppelt sich der Umsatz fast auf 21 Mio. und schon 1996 konnten 30 Mio. Euro umgesetzt werden. Mit dem Börsengang in Zürich 1996 konnte das weitere Wachstum finanziert werden.

2008 wird die SEZ schließlich vom amerikanischen Unternehmen Lam Research übernommen und konzentriert sich am Standort in Villach auf Abscheidungen, Ätzungen, Feinreinigungen und Partikelentfernung sowie auf den Kundendienst und der Herstellung von Equipment, Sondergeräten und Zubehör für die Halbleiterindustrie.

ZAHLEN - DATEN - FAKTEN:

  • 1986 Gründung
  • 1996 Börsengang
  • 2002 Generierter Umsatz von 136 Mio. Euro mit einem Mitarbeiter_innenstand von 740 Personen
  • 2008 Übernahme durch Lam Research